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                產(chǎn)品中心

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                當(dāng)前位置:首頁  /  產(chǎn)品中心  /    /    /  Nikon EX14C步進(jìn)式光刻機(jī)

                Nikon EX14C步進(jìn)式光刻機(jī)

                簡(jiǎn)要描述:NikonEX14C1

                基礎(chǔ)信息

                產(chǎn)品型號(hào)

                廠商性質(zhì)

                代理商

                更新時(shí)間

                2024-10-22

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                詳細(xì)介紹

                Nikon EX14C

                1.Nikon EX14C步進(jìn)式光刻機(jī)

                光源波長248nm

                分辨率優(yōu)于0.25µm

                主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

                廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

                2.產(chǎn)品詳情

                主要技術(shù)指標(biāo)

                分辨率0.25µm

                N.A.0.6

                曝光光源248nm

                倍率5:1

                曝光現(xiàn)場(chǎng)22mm*22mm

                對(duì)準(zhǔn)精度

                LSA:55nm

                FIA:65nm

                3.更多服務(wù)

                提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造

                常年提供所有備件、耗材



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