產(chǎn)品型號
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產(chǎn)品分類
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Nikon EX12B
1.Nikon EX12B步進式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.3µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.3µm
N.A.0.55
曝光光源248nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場22mm*22mm
對準(zhǔn)精度
LSA：55nm
FIA：65nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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