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                產(chǎn)品中心

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                低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)LPCVD

                簡(jiǎn)要描述:v滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求v直徑200毫米的石英室v內(nèi)部石英管的設(shè)計(jì)便于拆卸和清洗v基片尺寸可達(dá)直徑150毫米v三區(qū)電阻爐

                基礎(chǔ)信息

                產(chǎn)品型號(hào)

                廠商性質(zhì)

                代理商

                更新時(shí)間

                2024-10-22

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                詳細(xì)介紹

                v 滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求

                v 直徑200毫米的石英室

                v 內(nèi)部石英管的設(shè)計(jì)便于拆卸和清洗

                v 基片尺寸可達(dá)直徑150毫米

                v 三區(qū)電阻爐,150毫米的均勻溫度區(qū)

                v 溫度可達(dá)1000°C

                v 使用節(jié)流型VAT蝶形閥下游壓力控制在50 mTorr500 mTorr之間

                v 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 兩級(jí)干式真空


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