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                產(chǎn)品中心

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                當(dāng)前位置:首頁  /  產(chǎn)品中心  /    /    /  熱拆鍵合機(jī)

                熱拆鍵合機(jī)

                簡要描述:v該系統(tǒng)是用于分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術(shù)

                基礎(chǔ)信息

                產(chǎn)品型號(hào)

                廠商性質(zhì)

                代理商

                更新時(shí)間

                2024-10-22

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                詳細(xì)介紹

                v 該系統(tǒng)是用于分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術(shù),通過釋放熱量將載體剝離

                v FOWLP優(yōu)化熱拆鍵合技術(shù)

                v 全自動(dòng)脫膠

                v FOWLP晶圓翹曲控制和監(jiān)測(cè)

                v FOWLP晶圓正面標(biāo)記

                v 全自動(dòng)翹曲矯正模式

                v 晶圓尺寸:300/330 mm

                v 溫度控制:20~240℃ ±2℃

                v 裝載和卸載:手動(dòng)/全自動(dòng)

                v 翹曲處理能力:輸入翹曲:10 mm    矯正后的翹曲:<1 mm

                v 晶圓傳輸系統(tǒng):三溫?zé)o接觸傳輸

                v ESD控制:帶有自動(dòng)反饋傳感器的電離器


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