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                產(chǎn)品中心

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                當前位置:首頁  /  產(chǎn)品中心  /    /    /  減薄機

                減薄機

                簡要描述:v可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺

                基礎(chǔ)信息

                產(chǎn)品型號

                廠商性質(zhì)

                代理商

                更新時間

                2024-10-22

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                詳細介紹

                v 可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺,滿足各類半導體材料的研削薄化工藝

                v 晶圓尺寸:8英寸

                v 砂輪規(guī)格:?203(OD)mm

                v 砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍:0~6000 RPM

                v 工作臺轉(zhuǎn)速:0~400 RPM

                v Z軸行程:130mm

                v Z軸進給速度:0.1~1000 um /sec   可選配最小0.01um/sec

                v 厚度在線測量分辨率:0.1um

                v 厚度在線測量重復精度:±0.001 mm


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