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Metrios 系統(tǒng)是款半導體行業(yè)專用 TEM，它能根據(jù)半導體制造商的需要快速、精確地開展測量，幫助他們開發(fā)和控制晶圓片制造工藝?；?TEM 操作和測量步驟實現(xiàn)了高度自動化，限度降低了為操作員提供專門培訓的需要。而且，的自動化測量過程相比手動方法具有更大的精度。Metrios TEM 旨在為客戶提供比其他 TEM 更高的通量和更低的單位樣本成本。
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