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                產(chǎn)品中心

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                脈沖激光沉積鍍膜機(jī)PLD

                簡要描述:v產(chǎn)品概述:系統(tǒng)主要由真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成v設(shè)備用途:是一種利用激光高能量脈沖輻射沖擊固體靶時(shí),激光與物質(zhì)之間的所有物理相互作用,亦包括等離子羽狀物的形成,其后已熔化的物質(zhì)通過等離子羽狀物到達(dá)已加熱的基片表面的轉(zhuǎn)移,及最后物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段

                基礎(chǔ)信息

                產(chǎn)品型號(hào)

                廠商性質(zhì)

                代理商

                更新時(shí)間

                2024-10-22

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                詳細(xì)介紹

                v 產(chǎn)品概述:系統(tǒng)主要由真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成

                v 設(shè)備用途:是一種利用激光高能量脈沖輻射沖擊固體靶時(shí),激光與物質(zhì)之間的所有物理相互作用,亦包括等離子羽狀物的形成,其后已熔化的物質(zhì)通過等離子羽狀物到達(dá)已加熱的基片表面的轉(zhuǎn)移,及最后物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。PLD非常適合生長多元氧化物的多層膜和異質(zhì)膜,輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)化學(xué)成分較復(fù)雜的復(fù)合物材料進(jìn)行材料生長。在生長過程中還可以實(shí)現(xiàn)引入活性或惰性及混合氣等工藝氣體,以提高薄膜生長品質(zhì)

                v 基片尺寸:8inch(可向下兼容)

                v 加熱溫度:1000   加熱方式:輻射加熱

                v 靶材:3*4"

                v 真空度:5*10-7Pa

                v 氣路系統(tǒng):氧氣、氮?dú)?、氬?/span>

                v 模塊:PLD+進(jìn)樣室

                v 激光窗口:配有閘板閥

                v 光路系統(tǒng):激光掃描功能


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