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                產(chǎn)品中心

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                智能型多功能橢偏儀

                簡要描述:vSmartSE是一款通用型薄膜測量工具

                基礎(chǔ)信息

                產(chǎn)品型號(hào)

                廠商性質(zhì)

                代理商

                更新時(shí)間

                2024-10-22

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                詳細(xì)介紹

                v Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快,準(zhǔn)確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n, k)以及薄膜結(jié)構(gòu)特性(如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等)

                v 光譜范圍:450nm to 1000nm

                v 光譜分辨率:優(yōu)于3nm

                v 光源:鹵素?zé)艉退{(lán)光LED

                v 測試時(shí)間:小于1秒到10

                v 光斑尺寸:

                ? 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

                ? 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

                ? 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

                ? 500µm*500µm

                v 入射角:450 to 900 ,步徑50

                v 樣品尺寸:200mm以內(nèi)

                v 樣品準(zhǔn)直:手動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)高度(17mm以內(nèi))和傾角

                v 空氣對(duì)射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

                v 厚度準(zhǔn)確性:0.04%

                v 厚度重復(fù)性:±0.02%

                v 可選附件:

                ? 全自動(dòng)量角器,入射角度從450 900可調(diào),步徑0.010

                ? 可通過法蘭耦合在反應(yīng)腔實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測

                ? 冷熱臺(tái),液體樣品池和電化學(xué)反應(yīng)池

                ? 十字星自準(zhǔn)直系統(tǒng)


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