探針式輪廓儀/臺(tái)階儀

簡(jiǎn)要描述：v測(cè)量功能：二維表面輪廓測(cè)量/可選三維測(cè)量v樣品視景：可選放大倍率

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更新時(shí)間

2024-10-22

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產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

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詳細(xì)介紹

v 測(cè)量功能：二維表面輪廓測(cè)量 /可選三維測(cè)量

v 樣品視景：可選放大倍率，1 to 4mm FOV

v 探針壓力：使用LIS 3 傳感器 1至15mg

v 低作用力：使用N-Lite+低作用力傳感器: 0.03至15mg

v 探針曲率半徑可選范圍: 50nm至25 um

v 高徑比(HAR)針尖: 10um x 2um和200um x 20um 可按客戶(hù)要求定制針尖

v 樣品X/Y載物臺(tái)：

手動(dòng)X-Y平移：100mm (4英寸）

機(jī)動(dòng)X-Y平移：150mm (6 英寸)

v 樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)：手動(dòng)，360° 旋轉(zhuǎn) 機(jī)動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn)

v 掃描長(zhǎng)度范圍：55mm(2英寸)

v 每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)：最多可達(dá)120.000數(shù)據(jù)點(diǎn)

v 樣品厚度：50mm(2英寸)

v 晶圓尺寸：200mm(8英寸)

v 臺(tái)階高度重現(xiàn)性：<4A，1sigma在1um臺(tái)階上

v 垂直范圍：1mm(0.039英寸)

v 垂直分辨率：1A (6.55um垂直范圍下)

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