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                Nikon S207D掃描式光刻機

                簡要描述:NikonS207D1

                基礎信息

                產品型號

                廠商性質

                代理商

                更新時間

                2024-10-22

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                詳細介紹

                Nikon S207D

                1.Nikon S207D掃描式光刻機

                光源波長248nm

                分辨率優(yōu)于0.11µm

                主要用于8寸及12寸生產線

                廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

                2.產品詳情

                主要技術指標

                分辨率0.11µm

                N.A.0.82

                曝光光源248nm

                倍率4:1

                曝光現(xiàn)場26mm*33mm

                對準精度20nm

                3.更多服務

                提供中英文軟件及8"、12"設備硅片改造

                常年提供所有備件、耗材



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