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                產(chǎn)品中心

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                當(dāng)前位置:首頁  /  產(chǎn)品中心  /    /    /  Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機

                Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機

                簡要描述:CanonFPA5000ES31

                基礎(chǔ)信息

                產(chǎn)品型號

                廠商性質(zhì)

                代理商

                更新時間

                2024-10-22

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                詳細介紹

                Canon FPA5000 ES3

                1.Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機

                光源波長248nm

                分辨率優(yōu)于0.18µm

                主要用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線

                廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

                2.產(chǎn)品詳情

                主要技術(shù)指標(biāo)

                分辨率0.18µm

                N.A.0.6-0.73

                曝光光源248nm

                倍率4:1

                曝光現(xiàn)場26mm*33mm

                對準(zhǔn)精度35nm

                3.更多服務(wù)

                提供中英文軟件及6"、 8"、12"設(shè)備硅片改造

                常年提供所有備件、耗材




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