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                等離子去膠機

                簡要描述:一、產品介紹CIF推出等離子去膠機,采用電感耦合各向同性(各個方向)等離子激發(fā)方式,適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體去膠

                基礎信息

                產品型號

                廠商性質

                代理商

                更新時間

                2024-10-22

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                詳細介紹

                一、產品介紹

                CIF推出等離子去膠機,采用電感耦合各向同性(各個方向)等離子激發(fā)方式,適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體去膠。其外觀美學設計,結構緊湊,漂亮大氣,優(yōu)化的腔體結構及合理的結構設計,使得處理樣品量更大,適用范圍更廣,性能更穩(wěn)定,操作更簡便,性價比更高,使用成本更低,實用性更強,更容易維護。特別適合于大學,科研院所和微電子、半導體企業(yè)實驗室,對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基樹脂、MEMS制造過程中犧牲層,干刻或濕刻處理前或后,對基材進行聚合物剝離、金屬剝離、掩膜材料等光刻膠去除,以及晶圓表面預處理等。

                二、產品特點

                u PLC工控機控制整個去膠過程,手動、自動兩種工作模式。

                u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數狀態(tài),20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數據,機器運行、停止提示。

                u 石英真空倉,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

                u 可選用石英舟,更適合晶元硅片去膠應用。

                u 有效處理面積大,可處理直徑200mm晶元硅片。

                u 采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

                u 采用防腐數字流量計,實現對氣體輸入精準控制。標配雙路氣體輸送系統(tǒng),可選多氣路氣體輸送系統(tǒng),氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。

                u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

                u 處理高效均勻,效率高,工藝重復性好。

                u 樣品處理溫度,熱損傷和熱氧化。

                u 安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

                三、技術參數

                型號

                SPB5

                SPB5plus

                艙體尺寸

                D200xΦ155mm

                D200xΦ155mm

                艙體容積

                3.8L

                3.8L

                射頻電源

                40KHz

                13.56MHz

                匹配器

                自動匹配

                自動匹配

                激發(fā)方式

                電感耦合

                電感耦合

                射頻功率

                10-300W可調

                10-300W可調(可選10-600W)

                處理尺寸

                Φ150m

                Φ150m

                氣體控制

                質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)流量范圍0-500SCCM(可調)

                工藝氣體

                ArN?、O?、H?、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合氣體等(可選)

                時間設定

                1-99分59秒

                真空泵

                抽速約8m3/h

                氣體穩(wěn)定時間

                1分鐘

                極限真空

                1Pa

                AC220V 50-60Hz,所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定。

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